ICP雾化器为双层结构，外管为载气通路，内管为样品管，主要将待测液质样品雾化分析的一种装置，主要和雾室配合使用。
ICP雾化器是进样系统中关键的部分，需要很好地维护和使用。由于雾化器喷嘴出口很小，容易受样品溶液中盐分或其它不溶物堵塞，容易造成气溶胶通道不畅，常常反映出来的是待测元素谱线测定强度下降等。应定期对其清理，特别是测定高盐溶液之后，雾化器的喷嘴会积有盐分，更应注意清洗。
检查过程中通常要考虑以下几点：
1．吸入水，以肉眼检查雾化器产生的气溶胶(雾化器一旦被堵塞，由于含有许多大的雾滴，通常形成的喷雾会不稳定)。
2．氩气气流反方向加压或将雾化器放入合适的酸液或溶剂中浸泡，可以消除堵塞；也可以采用超声波清洗促进堵塞物溶解(要与制造厂商确认，是否允许超声波清洗该类型的雾化器)。 注意：不要用任何金属丝之类去捅雾化器喷嘴，这有可能导致损坏。
3．确保雾化器被安全密封在雾室的端帽上。
4．检查所有的O形圈的损坏和磨损情况。
5．确保进样毛细管正确连接到雾化器的进样管路中。
6．每隔1～2周检查雾化器，检查周期由工作量决定。
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